Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Versuchstechnik (HVT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110047052 |
HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 6 |
Seiten | 19-22 |
Erscheinungsvermerk | (1999) |