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ANKA - a synchrotron light source for X-ray based micromachining

Göttert, J.; Moser, H.O.; Pantenburg, F.J.; Saile, V.; Steininger, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Projektgruppe Errichtung ANKA (PEA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110047054
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 113-16
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