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ANKA - a synchrotron light source for X-ray based micromachining

Göttert, J.; Moser, H.O.; Pantenburg, F.J.; Saile, V.; Steininger, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Projektgruppe Errichtung ANKA (PEA)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110047054
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 6
Seiten 113-16
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