ANKA - a synchrotron light source for X-ray based micromachining
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Projektgruppe Errichtung ANKA (PEA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110047054 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 6 |
| Seiten | 113-16 |