Deep X-ray lithography for the fabrication of microstructures at ELSA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110047236 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A |
| Band | 467-468 |
| Seiten | 1269-73 |
| Erscheinungsvermerk | SRI 2000 : Proc.of the 7th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation, Berlin, August 21-25, 2000 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |