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Quality control of gas sensor microarrays using Auger electron spectroscopy

Schlesinger, R.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110047578
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Thin Solid Films
Band 366
Seiten 265-71
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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