Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110047598 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Mechatronics |
Band | 10 |
Seiten | 583-94 |