| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 110048605 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 57-58 |
| Seiten | 693-704 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 26th Internat.Conf.on Micro- and Nano-Engineering, Jena, September 18-21, 2000 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Web of Science Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |