Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 110048605 |
HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronic engineering |
Verlag | Elsevier |
Band | 57-58 |
Seiten | 693-704 |
Erscheinungsvermerk | Proc.of the 26th Internat.Conf.on Micro- and Nano-Engineering, Jena, September 18-21, 2000 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |