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Mechanische und tribologische Eigenschaften von CNₓ-, SiCₓ- und SiNₓ-Schichten

Leiste, H.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2000
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 110048743
HGF-Programm 42 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
Band 31
Seiten 743-46
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