Mechanische und tribologische Eigenschaften von CNₓ-, SiCₓ- und SiNₓ-Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110048743 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Materialwissenschaft und Werkstofftechnik |
| Band | 31 |
| Seiten | 743-46 |