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Laser micromachining and light induced reaction injection molding as suitable process sequence for the rapid fabrication of microcomponents

Hanemann, T. 1; Pfleging, W. 1; Hausselt, J. 1; Zum Gahr, K. H. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s005420100116
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Zitationen: 19
Dimensions
Zitationen: 20
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049520
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 7
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Berlin : VDI Verl., 2001 S.321-26 Micro System Technologies, S.209-14
Nachgewiesen in Dimensions
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