| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110049520 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 7 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Berlin : VDI Verl., 2001 S.321-26 Micro System Technologies, S.209-14 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |