Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110049536 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B |
Band | 174 |
Seiten | 317-23 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |