Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110049571 |
HGF-Programm | 12.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 7 |
Seiten | 17-22 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |