Gas permeability of adhesives and their application for hermetic packaging of microcomponents
Gerlach, A. 1; Keller, W. 1; Schulz, J.
1; Schumacher, K. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Schumacher, K. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110049571 |
| HGF-Programm | 12.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 7 |
| Seiten | 17-22 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |