KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz
Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s005420000057
Scopus
Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 11

Assembly of hybrid integrated micro-optical modules using passive alignment with LIGA mounting elements and adhesive bonding techniques

Gerlach, A.; Ziegler, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049572
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 7
Seiten 27-31
Nachgewiesen in Web of Science
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page