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Assembly of hybrid integrated micro-optical modules using passive alignment with LIGA mounting elements and adhesive bonding techniques

Gerlach, A.; Ziegler, P.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s005420000057
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Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049572
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 7
Seiten 27-31
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
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