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Assembly of hybrid integrated micro-optical modules using passive alignment with LIGA mounting elements and adhesive bonding techniques

Gerlach, A. 1; Ziegler, P. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s005420000057
Scopus
Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 12
Dimensions
Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049572
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 7
Seiten 27-31
Nachgewiesen in Scopus
OpenAlex
Web of Science
Dimensions
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung Ziel 7 – Bezahlbare und saubere Energie
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