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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s005420000057

Assembly of hybrid integrated micro-optical modules using passive alignment with LIGA mounting elements and adhesive bonding techniques

Gerlach, A.; Ziegler, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110049572
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 7
Seiten 27-31
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