Assembly of hybrid integrated micro-optical modules using passive alignment with LIGA mounting elements and adhesive bonding techniques
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110049572 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 7 |
| Seiten | 27-31 |
| Nachgewiesen in | Scopus OpenAlex Web of Science Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |