Testing and improvement of micro-optical-switch dynamics

Rembe, C.; Aschemann, H.; Aus der Wiesche, S.; Hofer, E. P.; Debeda, H.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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seit 13.05.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110049583
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Microelectronics Reliability
Band	41
Seiten	471