Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110049583 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microelectronics Reliability |
Band | 41 |
Seiten | 471 |