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Testing and improvement of micro-optical-switch dynamics

Rembe, C.; Aschemann, H.; Aus der Wiesche, S.; Hofer, E.P.; Debeda, H.; Mohr, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049583
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronics Reliability
Band 41
Seiten 471
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