| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 110049934 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 97-98 |
| Seiten | 646-652 |
| Erscheinungsvermerk | Selected Papers from Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus OpenAlex Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |