Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 110049934 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
Verlag | Elsevier |
Band | 97-98 |
Seiten | 646-652 |
Erscheinungsvermerk | Selected Papers from Transducers '01 : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |