| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110049939 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 8 |
| Seiten | 387-90 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 |