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Production of metallic high aspect ratio microstructures by microcasting

Baumeister, G. 1; Müller, K. 1; Ruprecht, R. 1; Hausselt, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-001-0132-z
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Zitationen: 45
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Zitationen: 37
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110049942
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 8
Seiten 105-08
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001
Nachgewiesen in Web of Science
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