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Rapid fabrication of microcomponents : UV laser assisted prototyping, laser micromachining of mold inserts and replication via light induced reaction injection molding

Pfleging, W. ORCID iD icon 1; Bernauer, W. 1; Hanemann, T. ORCID iD icon 1; Torge, M. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-002-0197-3
Scopus
Zitationen: 38
Web of Science
Zitationen: 26
Dimensions
Zitationen: 35
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsmonat/-jahr 11.2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen-ID: 110049946
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem technologies
Verlag Springer
Band 9
Heft 1-2
Seiten 67-74
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002)
Nachgewiesen in Dimensions
Scopus
Web of Science
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