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Rapid fabrication of microcomponents. UV laser assisted prototyping, laser micromachining of mold inserts and replication via light induced reaction injection molding

Pfleging, W.; Bernauer, W.; Hanemann, T.; Torge, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-002-0197-3
KITopen ID: 110049946
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 9
Seiten 67-74
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002)
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