Replication techniques for ceramic microcomponents with high aspect ratios
Bauer, W.
1; Knitter, R.
1; Emde, A. 1; Bartelt, G. 1; Göhring, D. 1; Hansjosten, E. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Knitter, R.
1; Emde, A. 1; Bartelt, G. 1; Göhring, D. 1; Hansjosten, E. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110049950 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 9 |
| Seiten | 81-86 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |