Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110050011 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 8 |
Erscheinungsvermerk | HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.215-16 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001, S.116-19 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |