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Swelling of PMMA structures in aqueous solutions and room-temperature Ni-electroforming

Ruzzu, A. 1; Matthis, B. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-001-0138-6
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Zitationen: 38
Web of Science
Zitationen: 28
Dimensions
Zitationen: 29
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110050011
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 8
Erscheinungsvermerk HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.215-16 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001, S.116-19
Nachgewiesen in Dimensions
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