Electrical bottom side contacting of electromechanical LIGA-stuctures by vias and screen printing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110050012 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 8 |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.247-48 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001, S.113-15 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |