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Numerical simulation of thermal distortions in deep and ultra deep X-ray lithography

Achenbach, S. 1; Pantenburg, F. J. 1; Mohr, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-002-0245-z
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Zitationen: 13
Web of Science
Zitationen: 13
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Zitationen: 14
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110050013
HGF-Programm 51.04.04 (Vor POF, LK 02)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 9
Seiten 220-24
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001
Nachgewiesen in Scopus
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