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A MS-Windows simulation tool for synchrotron X-ray exposure and subsequent development

Meyer, P.; Cremers, C.; El Kholi, A.; Haller, D.; Schulz, J.; Hahn, L.; Megtert, S.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-002-0209-3
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seit 01.08.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110050016
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 9
Seiten 104-08
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001
Nachgewiesen in Scopus
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