A MS-Windows simulation tool for synchrotron X-ray exposure and subsequent development
Meyer, P. 1; Cremers, C.; El Kholi, A. 1; Haller, D. 1; Schulz, J.
1; Hahn, L. 1; Megtert, S.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hahn, L. 1; Megtert, S.1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110050016 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 9 |
| Seiten | 104-08 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |