Micro-optical distance sensor fabricated by deep x-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110050389 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Optical Engineering |
| Band | 40 |
| Seiten | 1667-73 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |