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Deep X-ray lithography beamline at ELETTRA

Perennes, F.; de Bona, F.; Pantenburg, F.J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110050390
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A
Band 467-468
Seiten 1274-78
Erscheinungsvermerk SRI 2000 : Proc.of the 7th Internat.Conf.on Synchrotron Radiation Instrumentation, Berlin, August 21-25, 2000
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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