| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110050493 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 12 |
| Seiten | 375-79 |
| Erscheinungsvermerk | 12th Micromechanics Europe Workshop (MME 2001), Cork, IRL, September 16-18, 2001 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex Web of Science |