Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110050493 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Band | 12 |
Seiten | 375-79 |
Erscheinungsvermerk | 12th Micromechanics Europe Workshop (MME 2001), Cork, IRL, September 16-18, 2001 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |