Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110050857 |
HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 7 |
Seiten | 85-90 |