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Nanostructuring of single crystal diamond by reactive and non-reactive accelerated cluster erosion

Becker, C.; Gspann, J.; Krämer, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110051005
HGF-Programm 90 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in The European Physical Journal D
Band 16
Seiten 301-04
Nachgewiesen in Dimensions
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