Characterisation of silicon carbide and silicon nitride thin films and Si₃N₄/SiC multilayers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0925-9635, 1879-0062 KITopen-ID: 110051061 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Diamond and related materials |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 11 |
| Heft | 3-6 |
| Seiten | 1248-1253 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 12th European Conf.on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitride and Silicon Carbide (Diamond 2001), Budapest, H, September 2-9, 2001 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |