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Parameter spaces for the nucleation and the subsequent growth of cubic boron nitride films

Kulisch, W.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110051064
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erschienen in Thin Solid Films
Band 423
Seiten 183-195
Erscheinungsvermerk 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001, 2
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