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Parameter spaces for the nucleation and the subsequent growth of cubic boron nitride films

Kulisch, W.; Ulrich, S. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0040-6090(02)00731-9
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Zitationen: 55
Web of Science
Zitationen: 56
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Zitationen: 56
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0040-6090, 1879-2731
KITopen-ID: 110051064
HGF-Programm 42.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Thin solid films
Verlag Elsevier
Band 423
Heft 2
Seiten 183-195
Erscheinungsvermerk 28th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films,(ICMCTF 2001) San Diego, Calif., April 30 - May 4, 2001, 2
Nachgewiesen in Web of Science
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