| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110051995 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 8 |
| Seiten | 83-87 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus Web of Science |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |