Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110051995 |
HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 8 |
Seiten | 83-87 |
Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |