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Influence of the energy of sputtered carbon atoms on the constitution of diamond-like carbon thin films

Ulrich, S. 1; Bauer, Ch. 1; Holleck, H. 1; Leiste, H. 1; Stüber, M. 1; Ye, J. 1; Schwan, J.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0925-9635(01)00674-4
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Zitationen: 13
Web of Science
Zitationen: 10
Dimensions
Zitationen: 11
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0925-9635, 1879-0062
KITopen-ID: 110052060
HGF-Programm 42 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Diamond and related materials
Verlag Elsevier
Band 11
Heft 3-6
Seiten 1010-1014
Nachgewiesen in Dimensions
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