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Optical scanner based on a NiMnGa thin film microactuator

Kohl, M.; Hoffmann, S.; Liu, Y.; Ohtsuka, M.; Takagi, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1051/jp4:20031094
KITopen ID: 110052115
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erschienen in Journal de Physique IV
Band 112
Seiten 1185-88
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.on Martensitic Transformations (ICOMAT 02), Espoo, SF, June 10-14, 2002, Proceedings
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