| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110052165 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Materials |
| Band | 14 |
| Seiten | 119-28 |