Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110052165 |
HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Sensors and Materials |
Band | 14 |
Seiten | 119-28 |