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Polymer micro valve with a hydraulic piezo-drive fabricated by the AMANDA process

Rogge, T. 1; Rummler, Z. 1; Schomburg, W. K. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.sna.2003.10.056
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Dimensions
Zitationen: 54
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110052604
HGF-Programm 41.09.01 (POF I, LK 01) Fluidische Systeme
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 110
Erscheinungsvermerk EUROSENSORS XVI, Praha, CZ, September 15-18, 2002 Book of Abstracts S.109-10 (MP39), S.206-12
Nachgewiesen in Dimensions
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