Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110052664 |
HGF-Programm | 33.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 20 |
Seiten | 1733-37 |
Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Vacuum Congress of the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA), San Francisco, Calif., October 28 - November 2, 2001 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |