| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technische Physik (ITEP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110052664 |
| HGF-Programm | 33.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 20 |
| Seiten | 1733-37 |
| Erscheinungsvermerk | 15th Internat.Vacuum Congress of the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications (IUVSTA), San Francisco, Calif., October 28 - November 2, 2001 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions OpenAlex Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |