Surface analytical characterization of SiO₂ gradient membrane coatings on gas sensor microarrays
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110052911 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Heft | 2 |
| Seiten | 1109-14 |
| Erscheinungsvermerk | AVS 49th Internat.Symp., Denver, Colo., November 4-8, 2002, 21(2003) Virtual Journal of Nanoscale Science and Technology, 8(2003) |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |