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Surface analytical characterization of SiO₂ gradient membrane coatings on gas sensor microarrays

Bruns, M. 1; Frietsch, M. 1; Nold, E. 1; Trouillet, V. 1; Baumann, H.; White, R.; Wright, A.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1563625
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Zitationen: 5
Web of Science
Zitationen: 4
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Zitationen: 4
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110052911
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Heft 2
Seiten 1109-14
Erscheinungsvermerk AVS 49th Internat.Symp., Denver, Colo., November 4-8, 2002, 21(2003) Virtual Journal of Nanoscale Science and Technology, 8(2003)
Nachgewiesen in Web of Science
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