Surface analytical characterization of SiO₂ gradient membrane coatings on gas sensor microarrays

Bruns, M. ¹; Frietsch, M. ¹; Nold, E. ¹; Trouillet, V. ¹; Baumann, H.; White, R.; Wright, A.
¹ Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1563625

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 110052911
HGF-Programm	41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Journal of Vacuum Science and Technology A
Heft	2
Seiten	1109-14
Erscheinungsvermerk	AVS 49th Internat.Symp., Denver, Colo., November 4-8, 2002, 21(2003) Virtual Journal of Nanoscale Science and Technology, 8(2003)
Nachgewiesen in	Dimensions Web of Science Scopus