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Surface analytical characterization of SiO₂ gradient membrane coatings on gas sensor microarrays

Bruns, M.; Frietsch, M.; Nold, E.; Trouillet, V.; Baumann, H.; White, R.; Wright, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110052911
HGF-Programm 41.06.01; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Heft 2
Seiten 1109-14
Erscheinungsvermerk AVS 49th Internat.Symp., Denver, Colo., November 4-8, 2002, 21(2003) Virtual Journal of Nanoscale Science and Technology, 8(2003)
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