Investigations of the development rate of irradiated PMMA microstructures in deep X-ray lithography
Meyer, P. 1; El-Kholi, A. 1; Schulz, J.
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1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0167-9317, 1873-5568 KITopen-ID: 110053007 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microelectronic engineering |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 63 |
| Heft | 4 |
| Seiten | 319-328 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |