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Investigations of the development rate of irradiated PMMA microstructures in deep X-ray lithography

Meyer, P. 1; El-Kholi, A. 1; Schulz, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0167-9317(02)00547-6
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Zitationen: 28
Web of Science
Zitationen: 25
Dimensions
Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0167-9317, 1873-5568
KITopen-ID: 110053007
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Microelectronic engineering
Verlag Elsevier
Band 63
Heft 4
Seiten 319-328
Nachgewiesen in Dimensions
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