Deep X-ray lithography at ELETTRA using a central beam-stop to enhance adhesion
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110053009 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 8 |
| Seiten | 330-34 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |