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Investigations of silicon nitride and boron carbide monolayers and Si₃N₄/B₄C multilayers

Lattemann, M. 1; Ulrich, S. 1; Leiste, H. 1; Nold, E. 1; Holleck, H. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00339-003-2276-4
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110053211
HGF-Programm 42.02.02 (POF I, LK 01) Nanoskalige Schichtsysteme u.Oberflächen
Erschienen in Applied Physics A
Band 78
Seiten 659-62
Erscheinungsvermerk Jahrestagung der Deutschen Vakuum-Gesellschaft, Magdeburg, 17.-21.Juni 2002
Nachgewiesen in Scopus
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