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A biaxial rotation for depositing homogeneous large-area double-sided YBa₂Cu₃O₇₋ₓ thin films

Tao, B.W.; Li, Y.R.; Liu, X.Z.; He, S.M.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110053800
HGF-Programm 52.02.01; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 20
Seiten 1898-1902
Erscheinungsvermerk (2002)
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