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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1507341
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Zitationen: 9
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Zitationen: 9

A biaxial rotation for depositing homogeneous large-area double-sided YBa₂Cu₃O₇₋ₓ thin films

Tao, B.W.; Li, Y.R.; Liu, X.Z.; He, S.M.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-2101, 1520-8559
KITopen ID: 110053800
HGF-Programm 52.02.01; LK 01
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / A
Band 20
Heft 6
Seiten 1898-1902
Erscheinungsvermerk (2002)
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