Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 110053800 |
HGF-Programm | 52.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
Verlag | American Vacuum Society |
Band | 20 |
Heft | 6 |
Seiten | 1898-1902 |
Erscheinungsvermerk | (2002) |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |