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A biaxial rotation for depositing homogeneous large-area double-sided YBa₂Cu₃O₇₋ₓ thin films

Tao, B. W.; Li, Y. R.; Liu, X. Z.; He, S. M.; Geerk, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1116/1.1507341
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Zitationen: 10
Web of Science
Zitationen: 10
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Zitationen: 9
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0734-2101, 1520-8559
KITopen-ID: 110053800
HGF-Programm 52.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of vacuum science & technology / A
Verlag American Vacuum Society
Band 20
Heft 6
Seiten 1898-1902
Erscheinungsvermerk (2002)
Nachgewiesen in Web of Science
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