A biaxial rotation for depositing homogeneous large-area double-sided YBa₂Cu₃O₇₋ₓ thin films
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0734-2101, 1520-8559 KITopen-ID: 110053800 |
| HGF-Programm | 52.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of vacuum science & technology / A |
| Verlag | American Vacuum Society |
| Band | 20 |
| Heft | 6 |
| Seiten | 1898-1902 |
| Erscheinungsvermerk | (2002) |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |