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Manufacturing of isolated ceramic microstructures

Gietzelt, T.; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110053841
HGF-Programm 41.05.02; LK 01
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 9
Seiten 99-103
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002)
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