Manufacturing of isolated ceramic microstructures
Gietzelt, T.
; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.
; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110053841 |
| HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 9 |
| Seiten | 99-103 |
| Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002) |