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Large-scale molecular dynamics simulations of highly accelerated cluster impact on diamond surface

Yamaguchi, Y.; Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076, 1432-1858
KITopen ID: 110053859
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Microsystem technologies
Band 9
Heft 1-2
Seiten 109-112
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002)
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