Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsmonat/-jahr | 11.2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076, 1432-1858 KITopen-ID: 110053859 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Microsystem technologies |
Verlag | Springer |
Band | 9 |
Heft | 1-2 |
Seiten | 109-112 |
Erscheinungsvermerk | 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001,(2002) |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |