Development of a micro-optical distance sensor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 110053862 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 102 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 261-267 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |