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Development of a micro-optical distance sensor

Oka, T.; Nakajima, H.; Tsugai, M.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0924-4247(02)00395-3
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Zitationen: 30
Dimensions
Zitationen: 20
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247, 1873-3069
KITopen-ID: 110053862
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and actuators <Lausanne> / A
Verlag Elsevier
Band 102
Heft 3
Seiten 261-267
Nachgewiesen in Dimensions
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