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Development of a micro-optical distance sensor

Oka, T.; Nakajima, H.; Tsugai, M.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110053862
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 102
Seiten 261-67
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