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DoseSim: Microsoft-Windows graphical user interface for using synchrotron x-ray exposure and subsequent development in the LIGA process

Meyer, P.; Schulz, J.; Hahn, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1063/1.1532542
KITopen ID: 110054033
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 74
Seiten 1113-19
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