DoseSim: Microsoft-Windows graphical user interface for using synchrotron x-ray exposure and subsequent development in the LIGA process
Meyer, P. 1; Schulz, J.
1; Hahn, L. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hahn, L. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054033 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Review of Scientific Instruments |
| Band | 74 |
| Seiten | 1113-19 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |