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DoseSim: Microsoft-Windows graphical user interface for using synchrotron x-ray exposure and subsequent development in the LIGA process

Meyer, P. 1; Schulz, J. 1; Hahn, L. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.1532542
Scopus
Zitationen: 36
Web of Science
Zitationen: 33
Dimensions
Zitationen: 26
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054033
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Review of Scientific Instruments
Band 74
Seiten 1113-19
Nachgewiesen in Dimensions
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