Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110054771 |
HGF-Programm | 52.02.01 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
Band | 21 |
Seiten | 62-65 |
Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |