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Optical MEMS and its future trends

Lin, L.Y.; Wu, M.C.; Sawada, R.; Mohr, J.A.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JLT.2003.810734
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Zitationen: 4
Dimensions
Zitationen: 5
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054827
HGF-Programm 41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Lightwave Technology
Band 21
Seiten 582-583
Nachgewiesen in Dimensions
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