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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JLT.2003.810734

Optical MEMS and its future trends

Lin, L.Y.; Wu, M.C.; Sawada, R.; Mohr, J.A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110054827
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erschienen in Journal of Lightwave Technology
Band 21
Seiten 582-583
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