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A modular fabrication concept for microoptical systems

Mohr, J. A. 1; Last, A. 1; Hollenbach, U. 1; Oka, T.; Wallrabe, U. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JLT.2003.809578
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Zitationen: 18
Web of Science
Zitationen: 8
Dimensions
Zitationen: 11
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054830
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Lightwave Technology
Band 21
Seiten 643-647
Nachgewiesen in Dimensions
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