A modular fabrication concept for microoptical systems
Mohr, J. A. 1; Last, A.
1; Hollenbach, U. 1; Oka, T.; Wallrabe, U. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Hollenbach, U. 1; Oka, T.; Wallrabe, U. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054830 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Lightwave Technology |
| Band | 21 |
| Seiten | 643-647 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex Web of Science |