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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JLT.2003.809578

A modular fabrication concept for microoptical systems

Mohr, J.A.; Last, A.; Hollenbach, U.; Oka, T.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110054830
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erschienen in Journal of Lightwave Technology
Band 21
Seiten 643-647
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