Some calculations for the thickness distribution of large-area high-temperature superconducting film deposited by inverted cylindrical sputtering
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Festkörperphysik (IFP) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054833 |
| HGF-Programm | 52.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Vacuum Science and Technology A |
| Band | 21 |
| Seiten | 431-437 |
| Erscheinungsvermerk | Surfaces, and Films, 2 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |