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Some calculations for the thickness distribution of large-area high-temperature superconducting film deposited by inverted cylindrical sputtering

Tao, B.W.; Liu, X.Z.; Chen, J.J.; Li, Y.R.; Fromknecht, R.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Festkörperphysik (IFP)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 110054833
HGF-Programm 52.02.01; LK 01
Erschienen in Journal of Vacuum Science and Technology A
Band 21
Seiten 431-437
Erscheinungsvermerk Surfaces, and Films, 2
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