KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Ensuring reliability and repeatability in LIGA mould insert fabrication. Ensuring repeatability in LIGA mold insert fabrication

Schulz, J. ORCID iD icon 1; Bade, K. ORCID iD icon 1; Guttmann, M. 1; Hahn, L. 1; Janssen, A. 1; Köhler, U. 1; Meyer, P. 1; Winkler, F. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0424-1
Scopus
Zitationen: 9
Web of Science
Zitationen: 4
Dimensions
Zitationen: 2
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054843
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 419-22
Erscheinungsvermerk DTIP 2003 : Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, F, May 5-7, 2003
Nachgewiesen in Scopus
Dimensions
Web of Science
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page