Ensuring reliability and repeatability in LIGA mould insert fabrication. Ensuring repeatability in LIGA mold insert fabrication
Schulz, J.
1; Bade, K.
1; Guttmann, M.
1; Hahn, L. 1; Janssen, A. 1; Köhler, U. 1; Meyer, P. 1; Winkler, F. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
1; Bade, K.
1; Guttmann, M.
1; Hahn, L. 1; Janssen, A. 1; Köhler, U. 1; Meyer, P. 1; Winkler, F. 11 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 110054843 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Band | 10 |
| Seiten | 419-22 |
| Erscheinungsvermerk | DTIP 2003 : Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Cannes, F, May 5-7, 2003 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |