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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0377-4
Web of Science
Zitationen: 18

Replication of LIGA structures using microcasting

Baumeister, G.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054874
HGF-Programm 41.03.01 (POF I, LK 01)
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 484-88
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
Nachgewiesen in Web of Science
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