KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Replication of LIGA structures using microcasting

Baumeister, G. 1; Ruprecht, R. 1; Hausselt, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0377-4
Scopus
Zitationen: 22
Web of Science
Zitationen: 20
Dimensions
Zitationen: 18
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054874
HGF-Programm 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp.
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 484-88
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
Nachgewiesen in Dimensions
Web of Science
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page