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Replication of micro components by different variants of injection molding

Piotter, V.; Holstein, N. 1; Plewa, K. 1; Ruprecht, R. 1; Hausselt, J. 1
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0391-6
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Zitationen: 53
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Zitationen: 41
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Zitationen: 36
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 110054875
HGF-Programm 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Seiten 547-51
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
Nachgewiesen in Web of Science
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