Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 110054875 |
HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Band | 10 |
Seiten | 547-51 |
Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |